Válvula de gás ultra-alta pureza de um polegada para fabricantes de semicondutores e laboratórios analíticos com superfícies eletropolidas e monitoramento de partículas

Projetada com precisão para ambientes sensíveis à contaminação, esta válvula de gás mais leve de uma polegada controlada por partículas garante a integridade em sistemas críticos de distribuição de gás. Apresentando aço inoxidável 316L-VAR com acabamento eletropolido <0,5 Ra µm, esta válvula de gás de alta pureza atinge os padrões de partículas Classe 1/ISO 2 para gases de processo de semicondutores. O design de vedação cônica auto-alinhável elimina o contato metal-metal, evitando a geração de partículas durante mais de 100.000 acionamentos. Como uma válvula de gás de laboratório essencial, ela incorpora vedações faciais estilo VCR para integridade à prova de vazamento de hélio de 1x10⁻⁹ atm-cc/seg He, mantendo a pureza em nível de ppb para gases especiais como arsina e silano. As vedações da haste de PTFE que não soltam partículas e a configuração de perna morta zero atendem aos padrões SEMI F72. Inclui portas integrais de monitoramento de partículas para verificação de conformidade in-situ ISO 14644-1 Classe 3 durante a instalação.

Pontos Principais:
✓ Limpeza em Escala Nanométrica: <5 particles>0,1μm por litro (por IEST RP CC001.6)
✓ Vedação à Prova de Bolhas: Taxa de vazamento de hélio de 1x10⁻⁹ atm-cc/seg
✓ Imunidade à Corrosão: Passivação por método de ácido nítrico ASTM A967
✓ Operação Livre de Vibrações: Design de haste anti-ressonância
✓ Comprovada em Fab: válvula de gás de laboratório

 em conformidade com SEMI F72
Cenário de Aplicação:

Em uma sala limpa de semicondutores, os técnicos instalam válvulas usando contadores de partículas para verificar a contaminação zero durante o comissionamento da linha de gás de fabricação de chips de 5nm.

FAQ:
P: Qual certificação de partículas vem com esta válvula de gás de alta pureza?

R: Relatórios IEST-CC0016 Classe 1 com dados de distribuição de partículas de 0,1-5,0μm.P: Suas válvulas de gás de laboratório
 são compatíveis com dopantes tóxicos?

R: Sim, projetadas para gases SEMI S2 Categoria 1 com compatibilidade total de materiais.
P: Posso integrar o monitoramento de partículas sem interrupção do processo?

R: Sim, as portas de amostra permitem a verificação in-situ em conformidade com a ISO 14644-1.
P: Qual é o desempenho de desgaseificação?R:

<1x10⁻⁹ g/cm²/seg TML/CVCM por NASA-STD-6001B.
P: Você fornece protocolos de controle de contaminação para instalação?